薄膜電容檢測(cè)器又稱薄膜微音器，由金屬薄膜片動(dòng)極和定極組成電容器，當(dāng)接收氣室內(nèi) 的氣體壓力受紅外輻射能的影響而變化時(shí)，推動(dòng)電容動(dòng)片相對(duì)于定片移動(dòng)，把被測(cè)組分濃度 變化轉(zhuǎn)變成電容量變化。

薄膜電容檢測(cè)器是紅外線氣體分析器長(zhǎng)期使用的 傳統(tǒng)檢測(cè)器，目前使用仍然較多。它的特點(diǎn)是溫度變 化影響小、選擇性好、靈敏度高，但必須密封并按交流調(diào)制方式工作。其缺點(diǎn)是薄膜易受機(jī)械振動(dòng)的影響，接收氣室漏氣，即使有微漏，也會(huì)導(dǎo) 致檢測(cè)器失效，調(diào)制頻率不能提高，放大器制作比較困難，體積較大等。