①　陶瓷過(guò)濾器。陶瓷過(guò)濾器是使用比較廣泛的一種過(guò)濾器。它采用剛性的微孔材料做濾芯，如陶瓷、碳化硅、剛玉、砂芯、不銹鋼粉末等。為了防止過(guò)大的氣流吹壞陶瓷杯，過(guò)大的氣流使灰塵黏附在過(guò)濾杯上造成堵塞，必須在陶瓷杯外加防護(hù)罩。為了減少無(wú)效容積，過(guò)濾器底部做成錐形，同時(shí)增加一個(gè)分路接頭，一方面把灰塵吹走，另一方面由于氣體不斷流動(dòng)而加速氣體交換，減少滯后時(shí)間。設(shè)計(jì)時(shí)候還應(yīng)考慮陶瓷杯的更換及清洗方便。

②　化學(xué)過(guò)濾器。化學(xué)過(guò)濾器是指采用化學(xué)試劑對(duì)樣品中有害組分或水分進(jìn)行吸收或吸附，從而產(chǎn)生過(guò)濾效果的一種過(guò)濾器。根據(jù)采用化學(xué)試劑的種類(lèi)化學(xué)過(guò)濾器可以分為干式化學(xué)過(guò)濾器和濕式化學(xué)過(guò)濾器兩類(lèi)。

③　編織纖維過(guò)濾器。在灰塵、機(jī)械雜質(zhì)小于10-20μm時(shí)，可采用編織過(guò)濾器。它是一種比較通用、便于維護(hù)的過(guò)濾器、它對(duì)水相當(dāng)敏感，若樣品中有水或接近飽和的水蒸氣則不能使用，否則容易造成堵塞。選用纖維要根據(jù)工藝流程特點(diǎn)和樣品含塵的性質(zhì)來(lái)決定。

④　紙質(zhì)過(guò)濾器。它是一種適用于含懸浮粉塵（如炭黑等）或焦油，而其他部件難以處理達(dá)到要求的一種成本低廉的過(guò)濾器。它的紙質(zhì)是多孔纖維，比普通紙稍厚，類(lèi)似于濾紙。可過(guò)濾0.3μm的微粒，具有90%以上的捕集效率。它的壓降很小，約為98pa，若樣氣很臟，用一段時(shí)間后孔隙會(huì)被堵塞，可采用雙路并行結(jié)構(gòu)切換使用，以便連續(xù)運(yùn)行，不中斷取樣。

自清掃式過(guò)濾器。這是一種用得較多的預(yù)處理部件。不同使用對(duì)象，其材料除不銹鋼粉末冶金外還可用銅，特殊的地方用特種合金粉末冶金做濾芯。根據(jù)目前的制作加工技術(shù)，做成的濾芯可以過(guò)濾1μm的微粒。含雜質(zhì)的樣品從左側(cè)進(jìn)入過(guò)濾器后分成兩路，一路經(jīng)濾芯過(guò)濾后的清潔樣品進(jìn)入下一個(gè)預(yù)處理器或者直接送入分析器進(jìn)行分析。另一路將濾芯壁上滯留的粉塵、機(jī)械雜質(zhì)、油污、水霧等雜質(zhì)通過(guò)氣樣本身的吹掃作用吹掃入底部而帶出過(guò)濾器。從而達(dá)到自清掃的目的。由于這種過(guò)濾器能夠自身清掃濾芯，因此，對(duì)它的維護(hù)量很小。